Product type
應(yīng)用范圍:
各種工具(銑刀、鉆頭、拉刀、齒輪刀、絲錐等),精密模具和其他表面硬質(zhì)鍍膜處理
產(chǎn)品特點:
優(yōu)化的磁場和電場設(shè)計。集成HIPIMS和CVD技術(shù),薄膜致密光滑,兼具高硬度和高韌性,同基底結(jié)合力高。
硬質(zhì)涂層鍍膜機參考選型
項目 | 技術(shù)指標(biāo) | ||
型號 | KSL -1200 | KSL- 1600 | KSL -2000 |
腔體 | ?1200×H800mm | ?1600×H1000mm | ?2000×H1200mm |
工件架轉(zhuǎn)速 | 0~60RPM(可變) | ||
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min | ||
極限真空度 | 8.0×10-5Pa | ||
鍍膜系統(tǒng) | DC、MF或RF磁控濺射源 | ||
濺射靶材 | C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各種化合物等 | ||
膜厚控制 | 晶控或光控 | ||
控制系統(tǒng) | 工控電腦+觸摸屏 |