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真空鍍膜機

精密光學濺射系統

產品分類:真空鍍膜機
點擊次數:4323
發布時間:2019-07-18
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產品詳情

應用范圍:

    

    各種光學膜:AR/UV/IR截止濾光片、AF、AR膜、硬質膜、增強反射膜、帶通濾光片、RGB濾光器、HR膜等;  數碼產品外殼裝飾鍍膜:如手機炫光、漸變色鍍膜等   

   

 

   

 

 

產品特點:

    配置不同的靶和電源及膜厚儀可鍍多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可,并可在玻璃表面超硬鍍膜。

   全自動裝卸和鍍膜工藝控制,減少人為的誤操作,保證高端產品的高質量和一致性,大大提高生產效率和鍍膜產品附加值,為用戶創造最大價值。

 

 

精密光學濺射系統參考選型

項目

技術指標

 

型號 

KOSS-16

KOSS-24

腔體

?1600×H800mm

?2400×H1000mm

工件架轉速

0~150RPM(可變)

 

成膜室抽速

3.0×10-3 Pa≤30min

 

極限真空度

8.0×10-5Pa

 

鍍膜系統

DC、MF或RF磁控濺射源+等離子體源

 

濺射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 等

 

膜厚控制

晶控或光控

 

控制系統

工控電腦+觸摸屏

 

 


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