Product type
應用范圍:
各種光學膜:AR/UV/IR截止濾光片、AF、AR膜、硬質膜、增強反射膜、帶通濾光片、RGB濾光器、HR膜等; 數碼產品外殼裝飾鍍膜:如手機炫光、漸變色鍍膜等
產品特點:
配置不同的靶和電源及膜厚儀可鍍多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可,并可在玻璃表面超硬鍍膜。
全自動裝卸和鍍膜工藝控制,減少人為的誤操作,保證高端產品的高質量和一致性,大大提高生產效率和鍍膜產品附加值,為用戶創造最大價值。
精密光學濺射系統參考選型
項目 | 技術指標 | |
型號 | KOSS-16 | KOSS-24 |
腔體 | ?1600×H800mm | ?2400×H1000mm |
工件架轉速 | 0~150RPM(可變) | |
成膜室抽速 | 3.0×10-3 Pa≤30min | |
極限真空度 | 8.0×10-5Pa | |
鍍膜系統 | DC、MF或RF磁控濺射源+等離子體源 | |
濺射靶材 | C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 等 | |
膜厚控制 | 晶控或光控 | |
控制系統 | 工控電腦+觸摸屏 |